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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别:男
毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:物理学院
学科:等离子体物理
电子邮箱:sang@dlut.edu.cn
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Numerical simulation of particle densities distributions in atmospheric pressure Ar/SiH4/H2 mixed plasma under very high frequency excitation
点击次数:
发表时间:2022-10-07
发表刊物:高电压技术
所属单位:物理学院
卷号:39
期号:9
页面范围:2228-2234
ISSN号:1003-6520