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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
电子邮箱：sang@dlut.edu.cn
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Numerical Simulation of VHF Effects on Densities of Important Species for Silicon Film Deposition at Atmospheric Pressure
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发表时间：2022-10-07
发表刊物：Plasma Science and Technology
所属单位：物理学院
卷号：14
期号：12
页面范围：1106-1109
ISSN号：1009-0630