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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：清华大学
学位：博士
所在单位：控制科学与工程学院
学科：微电子学与固体电子学. 凝聚态物理. 控制理论与控制工程
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基于沉积技术的SiC MOS 器件栅氧界面应力缺陷及器件可靠性
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负责人姓名：王德君
项目参与人员：梁大成,秦福文
项目来源：国家自然科学基金项目
项目子类：面上项目
项目状态：在研
项目来源单位：国家自然科学基金委员会
项目性质：纵向
项目批准号：62574030
立项时间：2025-08-27
计划完成时间：2029-12-31
开始日期：2026-01-01