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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：清华大学
学位：博士
所在单位：控制科学与工程学院
学科：微电子学与固体电子学. 凝聚态物理. 控制理论与控制工程
电子邮箱：dwang121@dlut.edu.cn
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N型4H-SiC ECR氢等离子体处理研究
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发表时间：2022-10-07
发表刊物：固体电子学研究与进展
所属单位：电子信息与电气工程学部
卷号：29
期号：3
页面范围：334-338,416
ISSN号：1000-3819