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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：清华大学
学位：博士
所在单位：控制科学与工程学院
学科：微电子学与固体电子学. 凝聚态物理. 控制理论与控制工程
电子邮箱：dwang121@dlut.edu.cn
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Cleaning of SiC surfaces by low temperature ECR microwave hydrogen plasma
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发表时间：2022-10-05
发表刊物：APPLIED SURFACE SCIENCE
卷号：257
期号：23
页面范围：10172-10176
ISSN号：0169-4332