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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：清华大学
学位：博士
所在单位：控制科学与工程学院
学科：微电子学与固体电子学. 凝聚态物理. 控制理论与控制工程
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高温应力下SiO_2/SiC近界面碳缺陷的结构与电子特性演变
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论文类型：期刊论文
论文编号：375083
发表时间：2023-04-13
发表刊物：半导体技术
卷号：48
期号：07
页面范围：557-562+576
ISSN号：1003-353X
关键字：electron capture; electronic structure; high temperature stress; interface carbon defect; silicon carbide(SiC)
CN号：13-1109/TN