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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：清华大学
学位：博士
所在单位：控制科学与工程学院
学科：微电子学与固体电子学. 凝聚态物理. 控制理论与控制工程
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Reliability and Stability Improvement of MOS Capacitors via Nitrogen-Hydrogen Mixed Plasma Pretreatment for SiC Surfaces
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论文类型：期刊论文
论文编号：363589
发表时间：2023-04-12
发表刊物：ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES
卷号：15
期号：14
页面范围：18537-18549
ISSN号：1944-8244
关键字：4H-SIC/SIO2; BIAS TEMPERATURE INSTABILITY; DENSITY; DEPENDENT DIELECTRIC-BREAKDOWN; INTERFACE PROPERTIES