• 更多栏目

    高飞

    • 教授     博士生导师   硕士生导师
    • 主要任职：物理学院副院长
    • 性别：男
    • 毕业院校：大连理工大学
    • 学位：博士
    • 所在单位：物理学院
    • 学科：等离子体物理
    • 电子邮箱：fgao@dlut.edu.cn

    访问量：

    开通时间：..

    最后更新时间：..

    当前位置: 高飞 >> 科学研究 >> 论文成果
    Experimental investigations of electron density and ion energy distributions in dual-frequency capacitively coupled plasmas for Ar/CF4 and Ar/O2/CF4 discharges

    点击次数：

    论文类型：期刊论文

    发表时间：2014-01-01

    发表刊物：J. Appl. Phys.

    卷号：115

    期号：1

    页面范围：13301-13301


    辽ICP备05001357号 地址：中国·辽宁省大连市甘井子区凌工路2号 邮编：116024
    版权所有：大连理工大学
  • 大连理工大学 | 登录