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    高飞

    • 教授     博士生导师   硕士生导师
    • 主要任职：物理学院副院长
    • 性别：男
    • 毕业院校：大连理工大学
    • 学位：博士
    • 所在单位：物理学院
    • 学科：等离子体物理
    • 电子邮箱：fgao@dlut.edu.cn

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    Experimental investigations of electron density and ion energy distributions in dual-frequency capacitively coupled plasmas for Ar/CF4 and Ar/O2/CF4 discharges

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    论文类型：期刊论文

    发表时间：2015-01-01

    发表刊物：J. Appl. Phys.

    卷号：117

    期号：14

    页面范围：143301-143301


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