Experimental investigations of electron density and ion energy distributions in dual-frequency capacitively coupled plasmas for Ar/CF4 and Ar/O2/CF4 discharges
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发布时间：2019-03-12
论文类型：期刊论文
发表时间：2015-01-01
发表刊物：J. Appl. Phys.
卷号：117
期号：14
页面范围：143301-143301
