高飞
开通时间:..
最后更新时间:..
点击次数:
专利名称:一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器
第一作者:高飞
发明设计人:王友年
申请号:CN201621150149.9
授权日期:2016-10-24
授权号:CN206136437U
发布时间:2019-03-13
上一条:一种适用于低气压甚高频放电中交变磁场强度测量的探针
下一条:Positive and negative ion source based on radio-frequency inductively coupled discharge