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专利名称：一种适用于低气压甚高频放电中交变磁场强度测量的探针

第一作者：刘佳

发明设计人：王友年,高飞

申请号：CN201510263218.0

授权日期：2015-05-22

授权号：CN104849678A

发布时间：2019-10-15