高飞
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专利名称:一种减少基片材料受高能离子轰击损伤的方法
第一作者:刘巍
发明设计人:王友年,高飞
申请号:CN201510414721.1
授权日期:2015-07-15
授权号:CN105070627A
发布时间:2019-10-15
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