高飞
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第一作者:高飞
发明设计人:王友年
申请号:CN201810170811.4
授权日期:2018-03-01
授权号:CN108419352A
上一条:一种用于低压射频放电的石英桶密封结构
下一条:一种基于射频放电的正负离子源