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    高飞

    • 教授     博士生导师 硕士生导师
    • 主要任职:集成电路学院党委书记
    • 性别:男
    • 毕业院校:大连理工大学
    • 学位:博士
    • 所在单位:集成电路学院
    • 学科:等离子体物理
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    一种用于低压射频放电的石英桶密封结构

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      专利名称:一种用于低压射频放电的石英桶密封结构

      第一作者:高飞

      发明设计人:王友年

      申请号:CN201810005112.4

      授权日期:2018-01-03

      授权号:CN108231521A

      发布时间:2019-10-15