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Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2013-10-15

Journal: 稀有金属材料与工程

Included Journals: Scopus、EI、SCIE、CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 42

Issue: 10

Page Number: 2123-2126

ISSN: 1002-185X

Key Words: 类金刚石膜;掺杂;接触角;表面能

Abstract: 采用MEVVA离子源复合磁控溅射沉积系统,在钛合金Ti6Al4V基体上制备Ti掺杂DLC薄膜,研究Ti掺杂对DLC薄膜疏水性能的影响。通过X射线能谱仪(EDS)、X射线光电子谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)分别对薄膜的组分、化学键以及表面形貌进行分析;通过测量静态接触角分析薄膜的润湿性并计算薄膜的表面能。结果表明:Ti掺杂DLC膜明显提高疏水性能,水接触角最高达到105°。薄膜中sp2C杂化键组分增加以及表面形成Ti-O键,是导致薄膜表面能降低的重要因素。