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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
电子邮箱：guodm@dlut.edu.cn
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A Method to Improve Uniformity of Material Removal of Chemical Mechanical Polishing in LCOS Process
点击次数：
论文类型：期刊论文
发表时间：2008-01-01
发表刊物：Key Engineering Materials
卷号：364
期号：366
页面范围：686-689