Theoretical analysis and experimental verification of triangular fracture defects of MgO single crystal substrate in lapping or polishing process
点击次数：
论文类型：期刊论文
发表时间：2008-01-01
发表刊物：Key Engineering Materials
卷号：364
期号：366
页面范围：739-744
点击次数：
论文类型：期刊论文
发表时间：2008-01-01
发表刊物：Key Engineering Materials
卷号：364
期号：366
页面范围：739-744