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论文类型：期刊论文

发表时间：2003-11-20

发表刊物：机械工程学报

收录刊物：Scopus、EI、PKU、ISTIC、CSCD

卷号：39

期号：10

页面范围：100-105

ISSN号：0577-6686

关键字：硅片;化学机械抛光;平坦化;集成电路

摘要：在集成电路(IC)制造中,化学机械抛光(CMP)技术在单晶硅衬底和多层金属互连结构的层间全局平坦化方面得到了广泛应用,成为制造主流芯片的关键技术之一.然而,传统CMP技术还存在一定的缺点或局限性,人们在不断完善CMP技术的同时,也在不断探索和研究新的平坦化技术.在分析传统CMP技术的基础上,介绍了固结磨料CMP、无磨料CMP、电化学机械平坦化、无应力抛光、接触平坦化和等离子辅助化学蚀刻等几种硅片平坦化新技术的原理和特点以及国内外平坦化技术的未来发展.