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个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：三束实验室3号楼
电子邮箱：kaizhao@dlut.edu.cn
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面向PECVD非晶硅镀膜装备的等离子体实验诊断平台搭建及关键技术研发项目
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负责人姓名：赵凯
项目参与人员：王友年,刘永新,高飞
项目来源：企事业单位委托科技项目
项目状态：在研
项目来源单位：苏州迈为科技股份有限公司
项目性质：横向
立项时间：2022-11-01
计划完成时间：2025-11-01
开始日期：2022-11-01