|
个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：三束实验室4号楼
电子邮箱：
扫描关注
- [1]PECVD非晶硅镀膜装备低气压射频等离子体实验诊断研究项目,企事业单位委托科技项目,2021-03-17,2022-03-21,完成
- [2]面向刻蚀工艺的脉冲调制甚高频容性耦合等离子体的点燃物理,国家自然科学基金项目,2022-09-08,在研
- [3]等离子体离子引出电路阻抗匹配技术研究,企事业单位委托科技项目,一般性技术服务,2022-11-09,2023-07-14,结题
- [4]面向PECVD非晶硅镀膜装备的等离子体实验诊断平台搭建及关键技术研发项目,企事业单位委托科技项目,2022-11-01,在研
- [5]高频脉冲电源研究,事业单位委托科技项目,2023-12-06,在研
- [6]线路阻抗匹配器研究,事业单位委托科技项目,2023-12-06,在研
- [7]容性放电中电非对称效应与非线性驻波相互作用机制研究,国务院其他部门,2020-07-07,2022-08-19,结题
- [8]双频容性耦合等离子体源中非线性驻波效应的研究,国家自然科学基金项目,2020-09-18,2024-03-26,结题
- [9]甚高频容性放电中非线性驻波激发物理机制的研究,国务院其他部门,特别资助项目,2021-06-09,2022-08-19,结题
| 共 9 条 1/1 | 首页上一页下一页尾页 |