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个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：三束实验室3号楼
电子邮箱：kaizhao@dlut.edu.cn
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面向刻蚀工艺的脉冲调制甚高频容性耦合等离子体的点燃物理
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负责人姓名：刘永新
项目参与人员：孙景毓,赵凯
项目来源：国家自然科学基金项目
项目子类：面上项目
项目状态：在研
项目来源单位：国家自然科学基金委员会
项目性质：纵向
项目批准号：12275043
立项时间：2022-09-08
计划完成时间：2026-12-31
开始日期：2023-01-01