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副教授
博士生导师
硕士生导师
性别:男
毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:物理学院
学科:等离子体物理
办公地点:三束实验室4号楼
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Parameter Dependences of Ion Energy Distribution and Ion Flux in Dual-Frequency Capacitively Coupled Argon Discharges
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论文类型:期刊论文
论文编号:481626
发表时间:2025-07-11
发表刊物:IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE
ISSN号:0093-3813
