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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：光电工程与仪器科学学院
学科：光学工程. 微电子学与固体电子学. 测试计量技术及仪器. 光学
办公地点：厚望楼328室
联系方式：13795143616
电子邮箱：dwli@dlut.edu.cn
扫描关注
本实验室仪器设备
薄膜材料与器件制备相关设备： |
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热蒸发镀膜系统 |
二维半导体材料生长系统 |
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化学气相沉积(CVD)系统 |
快速退火炉 |
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焊接台 |
二维转移系统(1) | ||
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通风柜 |
提拉镀膜机 |
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旋涂仪 |
烘箱 |
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马弗炉 |
分析天平 |
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二维转移系统(2) |
真空封管机 |
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| 薄膜材料与器件表征设备 : | |||
多功能原子力显微镜 |
半导体分析仪 |
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探针台 |
光学显微镜 |
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低温冷井（待升级） |
高精度台阶仪 |
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偏振依赖光响应测试装置 |
三温区开启式加热炉 | ||
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校内合作实验室的部分仪器设备 (潘路军教授、黄火林教授等)
| 薄膜材料与器件制备相关设备： | |||
多功能磁控溅射系统 |
单靶磁控溅射系统 |
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国产光刻机 |
进口光刻机 |
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箱式快速退火炉 |
等离子体清洗系统 |
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离子溅射设备 |
双靶磁控溅射系统 | ||
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| 薄膜材料与器件表征设备 : | |||
显微拉曼光谱仪 |
台式扫描电镜 |
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