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论文类型：期刊论文

发表时间：2022-06-30

发表刊物：机械科学与技术

摘要：针对压电陶瓷底座激励装置中可动底座结构的实现方式和微结构的安装可靠性问题进行了研究，设计了一种由上联接块、钢球和下联接块组成的点接触式可动底座结构，以及一种带有L型支撑臂的弹性支承件，制作了基于压电陶瓷的底座激励装置，搭建了MEMS微结构动态特性测试系统，对激励装置的激振性能进行了测试实验，也对三种典型微悬臂梁的动态特性进行了测试实验。研究结果表明，所设计的激励装置能够使底座结构进行自适应调节，微结构安装区域的变形量也被大幅降低了，激励带宽可达到90kHz，具备良好的激振性能。

备注：新增回溯数据