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论文类型：期刊论文

发表时间：1996-01-01

发表刊物：物理学报

收录刊物：PKU、CSCD

卷号：45

期号：3

页面范围：428

ISSN号：1000-3290

关键字：气体放电; 空心阴极; 鞘层氩离子; 蒙特-卡罗模拟

摘要：建立了气体放电空心圆筒阴极鞘层离子的自洽蒙特-卡罗模拟模型,对鞘层区内离子的输运过程进行了研究。考虑了离子与中性原子的电荷交换碰撞和弹性散射,用到了精确依赖于离子能量的电荷交换和动量输运截面。模拟了氩离子在空心阴极鞘层中的运动,得到了不同放电条件下自洽电场分布,离子的能量分布,角分布以及电子密度分布和离子密度分布。计算结果表明:离子在由鞘层边界向阴极运动过程中,离子能量分布的高能部分逐渐增大,角分布向小角度部分压缩,鞘层中的强电场对离子起加速和聚焦作用;在鞘层内离子密度分布比较均匀,只是在鞘层边界附近变化急剧,电子密度在鞘层内几乎为零。在阴极鞘层内电场分布是非线性的。