大连理工大学主页平台管理系统徐军--徐军-- The effect of N2 flow rate on discharge characteristics of microwave electron cyclotron resonance plasma

徐军

访问量：

开通时间：..

最后更新时间：..

当前位置: 徐军 >> 科学研究 >> 论文成果

The effect of N2 flow rate on discharge characteristics of microwave electron cyclotron resonance plasma

点击次数：

论文类型：期刊论文

发表时间：2009-01-01

发表刊物：Physics of Plasmas

卷号：16

期号：53502

页面范围：1-5

上一条：N含量对CNx薄膜结构和介电性能的影响

下一条：On the defect induced ferromagnetic ordering above romm-temperature in undoped and Mn doped ZnO thin films