徐军

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  • 副教授     博士生导师   硕士生导师
  • 性别:男
  • 毕业院校:大连理工大学
  • 学位:博士
  • 所在单位:物理学院
  • 学科:等离子体物理. 材料表面工程
  • 办公地点:大连理工大学物理学院三束实验室2号楼202房间
  • 联系方式:大连理工大学物理学院三束实验室
  • 电子邮箱:xujun@dlut.edu.cn

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N含量对CNx薄膜结构和介电性能的影响

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论文类型:期刊论文

发表时间:2009-01-25

发表刊物:真空

收录刊物:PKU、ISTIC

卷号:46

期号:1

页面范围:17-21

ISSN号:1002-0322

关键字:CNx薄膜;N/C比;折射率;介电常数;电子极化

摘要:利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射(MW-ECR PEUMS)系统,在室温下制备CNx薄膜.通过傅立叶变换红外光谱、X光电子能谱表征技术以及椭偏仪测试手段,研究了N含量对CNx薄膜结构和介电性能的影响.研究结果表明,随着CNx薄膜N/C比的增大,sp3 C-N的形成受到抑制,sp2 C-N的形成增多,薄膜折射率以及介电常数电子极化贡献部分降低.