大连理工大学主页平台管理系统徐军--徐军-- Investigation of temperature-dependent ferroelectric Properties of Y-doped HfO2 thin film prepared by middle-frequency reactive magnetron co-sputtering

徐军

副教授博士生导师硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理. 材料表面工程
办公地点：大连理工大学物理学院三束实验室2号楼202房间
联系方式：大连理工大学物理学院三束实验室
电子邮箱：xujun@dlut.edu.cn

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Investigation of temperature-dependent ferroelectric Properties of Y-doped HfO2 thin film prepared by middle-frequency reactive magnetron co-sputtering

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论文类型：期刊论文

发表时间：2021-01-10

发表刊物：Vacuum

卷号：195

期号：5

页面范围：109506-109506

上一条：Development of NiCr/NiSi thin-film thermocouple sensor for workpiece temperature measurement in chemical explosive material machining

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