• 更多栏目

    徐军

    • 副教授     博士生导师   硕士生导师
    • 性别：男
    • 毕业院校：大连理工大学
    • 学位：博士
    • 所在单位：物理学院
    • 学科：等离子体物理. 材料表面工程
    • 办公地点：大连理工大学物理学院三束实验室2号楼202房间
    • 联系方式：大连理工大学物理学院三束实验室
    • 电子邮箱：xujun@dlut.edu.cn

    访问量：

    开通时间：..

    最后更新时间：..

    当前位置: 徐军 >> 科学研究 >> 论文成果
    碳含量及化学结构对SiCN薄膜结构和性能的影响

    点击次数：

    发表时间：2022-10-06

    发表刊物：TFC'05全国薄膜技术学术研讨会

    页面范围：1

    备注：新增回溯数据


    辽ICP备05001357号 地址：中国·辽宁省大连市甘井子区凌工路2号 邮编：116024
    版权所有：大连理工大学
  • 大连理工大学 | 登录