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    徐军

    • 副教授     博士生导师   硕士生导师
    • 性别：男
    • 毕业院校：大连理工大学
    • 学位：博士
    • 所在单位：物理学院
    • 学科：等离子体物理. 材料表面工程
    • 办公地点：大连理工大学物理学院三束实验室2号楼202房间
    • 联系方式：大连理工大学物理学院三束实验室
    • 电子邮箱：xujun@dlut.edu.cn

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    沉积偏压及N2流量对a-CNx膜成分、结构和性能的影响

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    论文类型：会议论文

    发表时间：2022-07-02

    发表刊物：第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会

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