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    徐军

    • 副教授     博士生导师   硕士生导师
    • 性别：男
    • 毕业院校：大连理工大学
    • 学位：博士
    • 所在单位：物理学院
    • 学科：等离子体物理. 材料表面工程
    • 办公地点：大连理工大学物理学院三束实验室2号楼202房间
    • 联系方式：大连理工大学物理学院三束实验室
    • 电子邮箱：xujun@dlut.edu.cn

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    等离子体源辅助磁控溅射法低温(200℃)制备多晶硅薄膜

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    论文类型：期刊论文

    发表时间：2012-05-25

    发表刊物：真空

    收录刊物：ISTIC

    卷号：49

    期号：3

    页面范围：47-50

    ISSN号：1002-0322

    关键字：多晶硅薄膜;电感耦合等离子体;磁控溅射;拉曼散射;红外光谱

    摘要：利用电感耦合等离子体辅助中频直流脉冲磁控溅射技术在200℃成功制备出多晶硅薄膜.详细介绍了等离子体源辅助磁控溅射技术制备多晶硅的工艺过程,并对辅助等离子体源放电功率对硅薄膜结晶度的影响进行了研究.利用拉曼散射、X射线衍射、傅里叶红外光谱对所制备的硅薄膜进行了表征.


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