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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：德国卡尔斯鲁厄工业大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
学科：材料物理与化学. 微电子学与固体电子学
办公地点：辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学新三束实验室412
电子邮箱：
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面向压力传感芯片应用的TiON薄膜应变机制与可靠性研究
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学科门类：工学
一级学科：材料科学与工程
项目简要备注：国家自然科学基金-联合基金重点支持项目
项目级别：国家级
项目批准号：U2541262
计划完成时间：2029-12-31
开始日期：2026-01-01