
教授 博士生导师 硕士生导师
性别:男
毕业院校:德国卡尔斯鲁厄工业大学
学位:博士
所在单位:材料科学与工程学院
学科:材料物理与化学
微电子学与固体电子学
办公地点:辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学材料科学与工程学院
知远楼A415
电子邮箱:
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项目名称:面向压力传感芯片应用的TiON薄膜应变机制与可靠性研究
学科门类:工学
一级学科:材料科学与工程
项目简要备注:国家自然科学基金-联合基金重点支持项目
项目来源:国家自然科学基金项目
项目级别:国家级
项目分类:联合基金重点支持项目
项目状态:在研
项目性质:纵向
项目批准号:U2541262
立项时间:2025-11-12
计划完成时间:2029-12-31
开始日期:2026-01-01
结项日期:2029-12-31
发布时间:2026-03-21