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周大雨
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别:男

毕业院校:德国卡尔斯鲁厄工业大学

学位:博士

所在单位:材料科学与工程学院

学科:材料物理与化学
微电子学与固体电子学

办公地点:辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学材料科学与工程学院
知远楼A415

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Effect of N-2 flow rate on the crystallization and electrical performance of AlN films prepared by medium frequency magnetron sputtering

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发布时间:2024-04-29

论文类型:期刊论文

论文编号:372797

发表时间:2023-09-30

发表刊物:THIN SOLID FILMS

卷号:781

ISSN号:0040-6090

关键字:DEPOSITION; TEMPERATURE; THIN-FILMS

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