|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：德国卡尔斯鲁厄工业大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
学科：材料物理与化学. 微电子学与固体电子学
办公地点：辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学新三束实验室412
电子邮箱：zhoudayu@dlut.edu.cn
扫描关注
Thickness dependent microstructural and electrical properties of TiN thin films prepared by DC reactive magnetron sputtering
点击次数：
发表时间：2022-10-03
发表刊物：CERAMICS INTERNATIONAL
卷号：42
期号：2
页面范围：2642-2647
ISSN号：0272-8842