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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：德国卡尔斯鲁厄工业大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
学科：材料物理与化学. 微电子学与固体电子学
办公地点：辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学新三束实验室412
电子邮箱：zhoudayu@dlut.edu.cn
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Realization of ferroelectricity in sputtered Al1-xScxN films with a wide range of Sc content
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发表时间：2024-05-17
发表刊物：Materials Today Communications
卷号：39
ISSN号：2352-4928
关键字：Al1-xscxN film; Compressive stress; Cosputtering; Ferroelectric films; Ferroelectric property; In-plane stress; Nitrogen compounds; Plane-stress state; Sc incorporation; Si substrates; Textures; Thin films; Thin-films; Wurtzite structure; X ray diffraction analysis; X- ray diffractions; Zinc sulfide