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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：德国卡尔斯鲁厄工业大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
学科：材料物理与化学. 微电子学与固体电子学
办公地点：辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学新三束实验室412
电子邮箱：zhoudayu@dlut.edu.cn
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Effect of abnormally oriented grains on the ferroelectric properties of Al0.65Sc0.35N thin films
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发表时间：2024-11-15
发表刊物：Materials Today Communications
卷号：41
ISSN号：2352-4928
关键字：Abnormally oriented grain; Al0.65sc0.35N film; Carrier concentration; Ferroelectric devices; Ferroelectric property; Ferroelectrics materials; Ferroelectric thin films; Gallium compounds; Leakage currents; Praseodymium alloys; Praseodymium compounds; Properties of Al; Reactive sputtering; Semiconducting indium phosphide; Silicon wafers; Sputtering pressures; Structure zone model; Substrates temperature; Surface discharges; Thin-films; Wide band gap semiconductors