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周大雨
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别:男

毕业院校:德国卡尔斯鲁厄工业大学

学位:博士

所在单位:材料科学与工程学院

学科:材料物理与化学
微电子学与固体电子学

办公地点:辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学材料科学与工程学院
知远楼A415

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Optimizing the PECVD Process for Stress-Controlled Silicon Nitride Films: Enhancement of Tensile Stress via UV Curing and Layered Deposition

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发布时间:2026-03-17

论文类型:期刊论文

论文编号:481215

发表时间:2025-06-12

发表刊物:COATINGS

卷号:15

期号:6

ISSN号:2079-6412

关键字:CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION; HYDROGEN; SIN DEPOSITION; THIN-FILMS

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