
教授 博士生导师 硕士生导师
性别:男
毕业院校:德国卡尔斯鲁厄工业大学
学位:博士
所在单位:材料科学与工程学院
学科:材料物理与化学
微电子学与固体电子学
办公地点:辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学材料科学与工程学院
知远楼A415
电子邮箱:
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发布时间:2026-03-17
论文类型:期刊论文
论文编号:481215
发表时间:2025-06-12
发表刊物:COATINGS
卷号:15
期号:6
ISSN号:2079-6412
关键字:CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION; HYDROGEN; SIN DEPOSITION; THIN-FILMS