教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
毕业院校：德国卡尔斯鲁厄工业大学
学位：博士
所在单位：材料科学与工程学院
学科：材料物理与化学
微电子学与固体电子学
办公地点：辽宁省大连市高新园区凌工路2号
大连理工大学材料科学与工程学院
知远楼A415
电子邮箱：
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发布时间：2026-06-26
论文类型：期刊论文
论文编号：597146
发表时间：2026-01-01
发表刊物：材料科学与工艺
页面范围：1-10
ISSN号：1005-0299
关键字：FIB-SEM; lectrochemical performance; magnetron sputtering; substrate bias; Ti/TiN/TiON laminated structure thin film electrode
CN号：23-1345/TB
