|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：威尔大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：微机电工程
办公地点：机械工程学院2号楼214-2
联系方式：办公电话：0411-84709754
电子邮箱：zouhl@dlut.edu.cn
扫描关注
Self-aligned micro contact printing using MEMS
点击次数：
论文类型：会议论文
发表时间：2009-06-21
收录刊物：EI、Scopus
页面范围：96-99
摘要：Aligned, multilevel micro contact printing without dedicated printing equipment is demonstrated. Miniature print engines are constructed from silicon parts using MEMS technology. The method is extended to include electrostatically driven patterning of flexible substrates. ?2009 IEEE.