邹赫麟

个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别：男

毕业院校：威尔大学

学位：博士

所在单位：机械工程学院

学科：微机电工程

办公地点：机械工程学院2号楼214-2

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研究领域

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微/纳机电系统（MEMS），微纳加工技术，半导体材料、器件与集成电路，光学仪器与测试计量技术。

主要研究内容：①跨尺度微纳器件设计理论与制造技术；②微压电喷墨打印技术；③电液动力微纳直写打印技术；④微纳流控生物芯片设计与制造。