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基于3D封装的纳米孪晶Cu互连机理与可靠性

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Leading Scientist:Mingliang Huang

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:面上项目

Status:结题

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:51671046

Date of Project Approval:2016-08-17

Scheduled completion time:2020-12-31

Date of Project Initiation:2017-01-01

Pre One:低温混装焊接工艺及可靠性技术研究项目

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