|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械知方楼@5126
联系方式：dongzg@dlut.edu.cn
电子邮箱：dongzg@dlut.edu.cn
扫描关注
300nm超薄晶圆减薄抛光一体机研发与产业化
点击次数：
负责人姓名：董志刚
项目来源：科技部重大专项
项目状态：结题
项目性质：纵向
项目批准号：2014ZX02504
立项时间：2014-01-01
计划完成时间：2016-12-30
开始日期：2014-01-01