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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：daizhl@dlut.edu.cn
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Atomic Layer Etching of Silicon and Silicon Dioxide Under Pulsed RF Substrate Bias
点击次数：
论文类型：会议论文
发表时间：2014-01-01
卷号：1
期号：1
页面范围：33-33
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性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
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发表时间：2014-01-01
卷号：1
期号：1
页面范围：33-33