|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：daizhl@dlut.edu.cn
扫描关注
- 左春彦, 高飞, 戴忠玲, 王友年.高功率微波输出窗内侧击穿动力学的PIC/MCC模拟研究[J],物理学报,2018,22:340-350
- 左春彦, 高飞, 戴忠玲, 王友年.高功率微波输出窗内侧击穿动力学的PIC/MCC 模拟研究[J],物理学报,2018,67(22):267-278
- 戴忠玲, 董婉, 宋远红, 王友年.Effect of ion bombardment time on the profile of atomic layer etching[A],2018
- 董婉, 王喜凤, 宋远红, 戴忠玲, 王友年.Effect of plasma uniformity on etching profiles[A],2018
- 董婉, 戴忠玲, 宋远红, 王友年.ALE of SiO2 by alternating CF4 plasma with energetic Ar+ plasma beams[A],2018
- Ma, Xiaoqin, Zhang, Saiqian, Dai, Zhongling, Wang, Younian, ZL (reprint author), Dalian Univ Technol, Sch Phys & Optoelect Technol, Dalian 116024, Peoples R China..Study on atomic layer etching of Si in inductively coupled Ar/Cl-2 plasmas driven by tailored bias waveforms[J],PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY,2017,19(8,SI)