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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：daizhl@dlut.edu.cn
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脉冲调制等离子体增强原子层刻蚀多尺度研究
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负责人姓名：戴忠玲
项目参与人员：贾莉,刘永新
项目来源：国家自然科学基金项目
项目子类：面上项目
项目状态：结题
项目来源单位：国家自然科学基金委员会
项目性质：纵向
项目批准号：11375040
立项时间：2013-09-25
计划完成时间：2017-12-31
开始日期：2014-01-01
结项日期：2017-12-31