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戴忠玲
个人信息
Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别:女
毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:物理学院
电子邮箱:daizhl@dlut.edu.cn
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科研项目
双频电容耦合放电等离子体流体动力学数值模拟, 2005/09/01, 结题
基于水平集方法的三维等离子体刻蚀剖面演化规律研究, 2008/07/15-2010/12/31, 结题
脉冲调制等离子体增强原子层刻蚀多尺度研究, 2013/09/25-2017/12/31, 结题
反应离子刻蚀微观不均匀性的跨尺度研究, 2009/09/25-2012/12/31, 结题
四面体网格划分技术合作项目, 2018/11/15-2021/06/07, 结题
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