基于水平集方法的三维等离子体刻蚀剖面演化规律研究
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负责人姓名:戴忠玲
所属单位:物理学院
项目级别:基本科研业务费
项目分类:大连理工大学理学学科研究基金项目
项目状态:结题
项目来源单位:大连理工大学
项目性质:纵向
项目批准号:DUTSF200810
立项时间:2008-07-15
计划完成时间:2010-12-31
开始日期:2009-01-01
结项日期:2010-12-31
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负责人姓名:戴忠玲
所属单位:物理学院
项目级别:基本科研业务费
项目分类:大连理工大学理学学科研究基金项目
项目状态:结题
项目来源单位:大连理工大学
项目性质:纵向
项目批准号:DUTSF200810
立项时间:2008-07-15
计划完成时间:2010-12-31
开始日期:2009-01-01
结项日期:2010-12-31