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氢离子在固体表面掠角散射与能量损失的数值模拟

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:1999-01-01

Journal:物理学报

Included Journals:Scopus、SCIE、PKU、CSCD

Volume:48

Issue:7

Page Number:1275

ISSN No.:1000-3290

Key Words:氢离子;表面散射;能量损失;介电函数;阻止本领;相互作用力;电子气;镜像反射;数值模拟;散射过程;

Abstract:利用介电响应理论和镜像反射模型对氢离子在固体表面掠角散射和能量损失进行了数值模拟.离子在表面散射时同时受到表面上原子的库仑排斥作用和表面电子气的动力学相互作用,后者是表面电子受运动的正离子扰动所产生,用线性介电响应理论来确定.在高速和低速情况下,分别采用仅与频率有关的局域介电函数和局域场修正介电函数来确定表面电子气产生的动力学相互作用力.计算结果与实验结果作了比较.发现入射速度很低时能量损失随入射角度变化不太明显,而当速度很高时能量损失随入射角度的变大而有所增加

Pre One:Simulation of nanoparticle transport dynamics in two-dimensional capacitively-coupled SiH4 discharge

Next One:等离子体源离子注入鞘层随时空演化的数值模拟