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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：物理学院305
联系方式：0411-84707939
电子邮箱：songyh@dlut.edu.cn
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脉冲调制射频容性耦合SiH4/N2/O2放电的二维流体力学模拟
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论文类型：会议论文
发表时间：2013-08-15
页面范围：277-277
摘要： 近年来，在射频等离子体放电中引入脉冲调制技术成为新的研究热点。与连续射频放电模式相比，脉冲调制放电可以降低基板温度，改善沉积和刻蚀速率，而且电源关闭以后，电子温度下降较快，等离子体中的负离子也可以逃离主等离子体区。所以对于电负性等离子体，可以减少基板电荷积累，还可以有效抑制不必要的尘埃颗粒生长。这些特点若被有效利用将有益于材料处理。