等离子体技术沉积SiCN薄膜中O杂质的来源、化合状态及其对薄膜结构和性能的影响
Release Time:2024-10-17 Hits:
Date of Publication: 2022-10-06
Journal: 真空科学与技术
Institution: 物理学院
Volume: 29
Issue: 1
Page Number: 26-30
Note: 新增回溯数据
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Journal: 真空科学与技术
Institution: 物理学院
Volume: 29
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Note: 新增回溯数据